英国Surface Technology Systems plc（STS）宣布，美国飞思卡尔" title="飞思卡尔">飞思卡尔半导体（Freescale Semiconductor）已采用其硅深度离子蚀刻模块“Pegasus”。此次所订购的是支持组合型的200mm晶圆" title="晶圆">晶圆设备，是该公司累计的第100个Pegasus订单。

    对于飞思卡尔，此次订购的Pegasus将用于其美国德克萨斯州Austin的Oak Hill工厂，用于正在导入的支持200mm晶圆的MEMS生产线。飞思卡尔正在推进通过MEMS传感器的低成本化和小型化来扩大汽车领域之外的其他用途的战略。