三星发布10nm以下的DRAM技术

12月16日,三星电子在旧金山举行的第70届国际电子器件会议上宣布,其旗下三星先进技术研究所(SAIT)成功开发出一种新型晶体管,能够在10nm以下的制程节点上生产DRAM,这个突破将解决移动DRAM发展中的关键挑战。这项技术的重点在于实现小于10nm的DRAM 制程,这对于移动DRAM 来说是一个重要的障碍,因为传统的演进方法已经达到物理极限。

三星将其技术命名为“用于10nm以下CoP垂直通道DRAM晶体管的高耐热非晶氧化物半导体晶体管”,其采用存储单元堆叠在外围电路上,这种方法简称为单元-外围电路(Cell-on-Peri,简称CoP)。这与目前将外围电路放置在存储单元下方的方式截然不同,因为外围电路在高温堆叠过程中容易受到损坏,导致性能下降。因此,三星采用了一种基于非晶铟镓氧化物(InGaO)的晶体管,这种晶体管可以承受高达 550 摄氏度的高温,从而防止性能下降。

三星补充说,这种垂直沟道晶体管的沟道长度为 100nm,可以与单片 CoP DRAM 架构集成。并且,在测试过程中,漏极电流的劣化程度极小,晶体管在老化测试中也表现良好。

消息人士称,该技术目前仍处于研究阶段,未来将应用于10nm以下的0a和0b类DRAM。后续随着这项技术的推出,有望使三星在高密度存储器市场中更具竞争力。


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