引言
在工业生产和过程控制等领域，为了提高产品质量，很多关键指标就需要精确计量。特别是在能源、医疗以及空气调节系统等领域中，需要通过测得流体的流量来进行生产的自动化控制，进而提高生产效率，保证产品的质量。
气体流量传感器在许多应用领域中发挥着重要作用，许多工业过程的可行性和可靠性很大程度上取决于气体流量的精确测量和控制[1]。汽车发动机和家用供暖锅炉的效率和污染物排放可以通过精确控制燃烧混合物来优化。传统的流量传感器如差压式流量传感器、容积式流量传感器等，其体积较为庞大，对于微小气体流量的检测不够精确。而流量传感器的精度、稳定性及适应工作环境能力、智能化水平和性能价格比等指标极大地影响着社会各行业的发展。
20世纪60年代，随着微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System, MEMS）技术的兴起，基于MEMS技术制造出来的器件具有微型化与集成化的特点，故与传统工艺制造出来的大型传感器相比，其功耗更低，可进一步提升工业生产控制系统的自动化、智能化以及可靠性水平。
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作者信息：
杨绍松，刘同庆
（无锡芯感智科技股份有限公司，江苏 无锡 214000）
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