电容网络对射频SOI开关功率承受能力影响研究
电子技术应用
刘张李
上海华虹宏力半导体制造有限公司
摘要: 通过比较分析研究电容网络对射频SOI开关功率承受能力的影响,主要包括射频开关晶体管源极与漏极之间的横向耦合电容Cdsn和射频开关源极与漏极节点到GND的纵向耦合电容Cgndn。研究内容包括射频开关堆叠结构Cdsn/Cgndn逐步变化,前两级Cdsn/Cgndn电容值大小,前N级Cdsn/Cgndn电容网络对射频开关插入损耗、隔离度和功率承受能力的影响,研究结果为射频开关电路设计提供参考。
中图分类号:TN432 文献标志码:A DOI: 10.16157/j.issn.0258-7998.246217
中文引用格式: 刘张李. 电容网络对射频SOI开关功率承受能力影响研究[J]. 电子技术应用,2025,51(7):36-40.
英文引用格式: Liu Zhangli. Effects of capacitor network on power handling capability of RF SOI switch[J]. Application of Electronic Technique,2025,51(7):36-40.
Effects of capacitor network on power handling capability of RF SOI switch
Liu Zhangli
Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corporation
Abstract: The effects of capacitor network on power handling capability of Radio-Frequency Silicon-On-Insulator (RF SOI) switch were comprehensively investigated in this work, including the horizontal coupling capacitor Cdsn between the RF Switch Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor (MOSFET) drain-to-source, and the vertical coupling capacitor Cgndn between the RF Switch MOSFET drain/source-to-gnd. The impacts of stack structure with gradual change Cdsn/Cgndn, larger 1st/2nd stage Cdsn/Cgndn and larger N stage Cdsn/Cgndn capacitor network on RF switch insertion loss, isolation and power handling capability was discussed in detail. The result can be reference as RF switch circuit design.
Key words : RF switch;power handling capability;capacitor network

引言

射频SOI(Silicon-On-Insulator)开关具有低插入损耗、高隔离度、高线性度和高功率处理能力,基本上已完全替代GaAs,成为射频开关主流产品。文献[1-7]研究了不同设计SOI射频开关性能。文献[8]研究大功率模式下衬底网络模型对大信号建模的影响,并给出了SOI衬底横向电阻电容网络和纵向电阻电容网络的建模方法,文章主要研究对象为SOI衬底。文献[9]研究了首两级在栅极与漏极增加电容对射频开关处理能力的影响。文献[10]研究了不同设计参数对SOI射频开关小信号的影响。从已有参考文献来看,系统分析射频开关源极与漏极之间的横向耦合电容Cdsn和射频开关源极/漏极节点到GND的纵向耦合电容Cgndn对射频开关功率承受能力影响鲜有报道。


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作者信息:

刘张李

(上海华虹宏力半导体制造有限公司,上海 201203)


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