0 引言
激光扫描在激光雕刻、激光雷达、激光精密打标等领域都有广泛的应用。目前激光扫描方式主要分为振镜扫描、MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)微镜扫描以及转镜扫描[1]。
振镜扫描是指振镜电机带动反射镜偏转，进而使入射到反射镜表面的光束发生偏转，实现扫描[2]。振镜扫描方式由于其机械结构导致其扫描速度较慢，扫描频率一般为20 Hz左右，扫描角度一般为20°×20°。
MEMS微镜采用微机电系统工艺，相比机械振镜具有体积小、谐振频率高、光学特性好的优点[3]，由于其工作在谐振频率处，快轴扫描频率能达到27 kHz，扫描角度一般为40°×10°[4]。
转镜扫描是一种比较常见的机械扫描方式，其物面扫描点的形状是线状的。有些商业LIDAR(Light Detection and Ranging)系统采用这种方式。转镜扫描具有转速高、扫描速度大、稳定性好的优点[5]。但转镜相比MEMS微镜，扫描图像分辨率较低。
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作者信息：
周 珏1，2，吴东岷2
(1.中国科学技术大学 微电子学院，安徽 合肥230026；
2.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，江苏 苏州215000)
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