1月20日，光刻机龙头ASML公布2020年全年财报。2020年，ASML共售出258台光刻系统，包括236台新系统和22台二手系统。总营收达140亿欧元，毛利率为48.6%，净利润达36亿欧元。

EUV光刻机是当前顶尖芯片制造的关键设备，主要用于生产7纳米及更先进制程的芯片。2020年，ASML共销售31台EUV，较前一年增加5台，创收45亿欧元。

EUV进展：交付第一台YieldStar385系统

ASML在第四季度向客户交付了第一台YieldStar385系统。YieldStar385具备最新的量测技术，提高量测速度和准确度，可以满足3纳米制程的要求。与以前的系统相比，主要的增强功能包括更快的工作台和更快的波长切换，这可以实现高精度的套准测量和使用多个波长的设备匹配。

ASML预计，下一代EUV光刻机将在2025年量产。预计到2021年，EUV全年销售额将达到55亿欧元。

DUV突破：预订量创历史新高

ASML向《科创板日报》记者透露，2020年DUV（深紫外光）光刻机预订量创历史新高（73亿欧元）。在DUV光刻业务领域，首批NXT2050i系统的生产周期长达120天，但截至去年年底，最后五套系统的生产中，已将生产周期缩短到60天。

ASML预计2021年一季度收入在39亿欧元-41亿欧元之间，市场预估35.2亿欧元；毛利率在50%至51%之间。