据台媒 DigiTimes 报道，台积电5nm 使用了先进的技术与特殊处理，预计晶圆成本将相当昂贵。根据美国 CSET 计算，以5nm 计数器制造的12吋晶圆成本约1.6988万美元，远高于7nm 成本9346美元。

　　根据此前信息，台积电5nm 工艺在今年一季度已大规模投产，为苹果、华为等厂商代工最新处理器，预计会贡献今年近一成的营收。

　　据悉，台积电总裁魏哲家此前在技术论坛上表示，相较7nm，5nm 速度提升15%，功耗降低30%，电晶体密度提升80%，加强版5nm 预计2021年量产，以5nm 为基础发展的4nm 将于2021年第4季试产。

　　5nm晶圆之所以贵，主要是工艺复杂，EUV多达14层，每一层都要动用ASML的Twinscan NXE光刻机，这台设备单价超1.2亿美元。另外，目前是5nm大规模量产的初期，良率在逐渐拉升，后期成本会慢慢降下来。