光刻机厂商ASML Q1订单暴增,天价设备都被谁买去了

    光刻机半导体生产制造流程的核心设备,由于技术复杂、技术垄断,导致价格昂贵。

    最近,光刻机全球领导厂商荷兰ASML发布最新报告,ASML宣布,今年一季度,他们共获得了73 台光刻机订单,其中 11 台是极紫外EUV光刻机。这 73 台光刻机订单中,有 72 台将是新生产的光刻机,另外 1 台则是翻新的光刻机。据介绍,这73 台光刻机订单金额高达 30.85 亿欧元,其中11台EUV光刻机的订单金额为15亿欧元。

    根据ASML此前的财报数据,2019年Q1,ASML获得的光刻机订单是 34 台,金额 13.99 亿欧元。相比去年一季度,无论是订单数量还是订单金额,ASML在今年一季度都实现了暴增。

    从高端的极紫外EUV光刻机订单量来看,ASML去年的财报显示,2019年ASML全年共计出货26台EUV光刻机,而今年仅一季度就获得了11台EUV光刻机订单,可以预计,今年在EUV光刻机的出货量上,也要远超去年。

    根据最新的订单金额,21ic小编粗算了一下,最高端的EUV光刻机每台大约10亿元人民币,即便是中低端的光刻机产品,每台也要约2亿元人民币。

    这么昂贵的设备,ASML的光刻机都卖给了谁呢?

    光刻机是半导体生产的必备设备,全球的晶圆厂、代工厂原则上都是ASML的潜在客户,尤其是在EUV光刻机产品上,ASML是独家供货商。根据去年的数据,其售出的26台极紫外线(EUV)光刻机中的一半左右卖给了台积电公司。

    中国的晶圆代工企业中芯国际也向ASML预定了极紫外EUV光刻机,但遗憾的是,由于种种原因,目前仍未能到货。

    不过,虽然没有EUV光刻机,但据中芯国际梁孟松介绍,中芯国际已研发了N+1、N+2工艺,N+1与现在的14nm工艺相比,性能有20%的提升,功耗将会降低50%,并且SoC面积对比减小55%。如果从性能上来看,该工艺与7nm稍有差距,但是功耗要低得很多。可以看出,基本上,中芯国际N+1、N+2工艺已十分接近7nm工艺,该技术将于2020年底开始试验产能。

    

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