台积电5nm工艺2020年第一季度实现量产

5月23日,台积电举办技术论坛,今年台积电总产能将以7纳米成长最多,第二代加入EUV的7纳米预计第3季量产,今年7纳米总产能将增加1.5倍,达到100万片约当12吋晶圆。而5纳米一期也已开始装机,预计明年第1季量产。

对于制程技术进程,台积电总裁魏哲家指出,台积电7 纳米制程技术已于去年量产,目前市面看到的7 纳米产品,都是由台积电制造的,而7 纳米加入EUV 的加强版也已完成,且良率已与第一代7 纳米一样;6 纳米则是7 纳米的优化版本,矽智财(IP) 可与7 纳米相容共用;5 纳米则已完成试产。

台积电发言人孙又文表示,5 纳米预计明年第1 季量产,而3 纳米量产时间虽未定,但新技术推进时程约2 年时间,目前3 纳米进展不错,包括规格与制程技术等几近界定完成。


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