根据台湾经济部统计，今年第1季台湾的半导体设备产值达105.97亿元新台币（约为13亿美元），年增率29.1%，而在手持行动装置、物联网、车用电子及高效运算等科技产品的带动下，全年产值可望突破400亿元，再创近年新高。

近年来，由于台湾半导体产业蓬勃发展，带动相关半导体设备的需求，使得台湾半导体设备(包括生产及检测设备)产值水涨船高，已连续5年正成长，去年的产值达393.82亿元，年增率7.3%。

目前台湾的半导体设备还是以进口为主，其中日本及美国是主要的进口来源；不过，近年来有些半导体设备正逐渐由台湾产品替代，这些台湾半导体设备甚至开始出口到大陆、美国、新加坡等地。

根据国际半导体设备产业协会(SEMI)统计，2016年全球半导体设备销售金额为412亿美元，台湾是最大的设备需求地区，进口值达167亿美元；因此，未来如果进口替代的比重提升，那么台湾半导体设备的产值将可望进一步成长。