中国半导体产业研发机构上海集成电路研发中心21日宣布与国际光刻巨头ASML签订合作备忘录（MoU），将在上海合作共建一个半导体光刻人才培训中心。这也将为未来中国半导体行业挺进先进工艺制程做进一步铺路与技术人才培养与准备。

根据MoU双方计划将研发中心现有的洁净室设施与教室作为培训中心，而配套的光刻及测量设备则由ASML提供。阿斯麦还将派出经验丰富的光刻工程师参与授课。通过此次双方合作，增强客户的光刻专业工程师技能。

双方培训中心的选址于上海是基于以下几个层面的考虑：一是上海是集成电路制造的群聚地；上海的运营成本也符合双方的预期；另外，上海当地合作伙伴众多，地方政府同时也提供了强有力的集成电路产业扶持政策与其他相关的政策支持。

上海集成电路研发中心董事长兼首席执行官赵宇航则在签署仪式上表示，未来培训中心将拥有ASML多款光刻设备和检测设备，也将逐步对国内半导体行业企业内的光刻工程师开放，这大大提高中国集成电路产业在高端和专业技术人才方面的培养力度。

集成电路产业将在中国迅速发展，对熟悉设备工艺、训练有素的人才的需求也将变得越来越迫切。

ASML公司总裁暨首席执行官Peter Wennink表示，双方成立的培训中心提供完善的软、硬件环境，提升光刻技能与专业知识，这是中国半导体持续保持增长不可或缺的一个重要环节。

出席双方MoU的签约仪式人员包括：上海市经济信息工作党委书记陆晓春、上海市集成电路行业协会会长、华虹集团董事长张素心、上海市经济和信息化委员会副主任傅新华、上海华力微电子有限公司总裁雷海波等重要人士。

2017年三月上海微电子装备（集团）SMEE与ASML才签署战略合作备忘录（MoU）。SMEE将探索就ASML光刻系统的特定模块或半导体行业相关产品进行采购的可能性。