集成电路检测器 ICS 105 同 ICR 型号的近场微探头组合使用，可对集成电路（ICS 105 GND 组套）和小型组件（ICS 105 UH 组套）进行高频近场测量。通过对集成电路的近场分析，能够在高频环境下对集成电路的内部过程有准确了解。集成电路的干扰发射问题将通过测量予以分析，找出集成电路中产生干扰发射的部位。

图 1 近场微探头 ICRHH 150-27 是一款带有水平测量线圈的探头，用于磁场测量。测量分辨率为   50 µm，测量范围为 1.5 GHz 至 6 GHz。

    除了朗格尔电磁兼容技术有限公司的 ICR 型号近场微探头之外，还可借助探头支架 SH 01 将手持式探头或场源置入到 ICS 105 之中（图 2）。

    使用不同的 ICR 近场微探头，可在 (50x50x50) mm 的空间范围内分别对磁场或电场进行测量，测量结果通过软件 CS-Scanner 在电脑上显示。此外，ICR 近场微探头可通过旋转轴自动旋转 360°，以确定磁场的确切方向。借助视频显微镜，可方便近场微探头在测量目标上的精确定位。ICS 105 检测器的最小步进值为 10μm，可实现极高分辨率的测量（图 1）。

    ICR 型近场微探头适用于 1.5 MHz 至 6 GHz 频率范围内的测量，可达到的测量分辨率约为 50μm。用于磁场测量的近场微探头可提供两种不同的基本规格。ICR HV 近场微探头带有垂直测量线圈，ICR HH 近场微探头带有水平测量线圈。ICR E 近场微探头的探针头包括一个水平电极，用于电场测量。

    不同类型的近场微探头配置齐全，确保在完成各类众多实际测量任务时能够选取最佳的探头型号。

使用近场微探头可以进行下列测量：

    - 根据标准 IEC61967-3 进行集成电路表面扫描

    - 集成电路容量扫描

    - 针脚扫描

在测量过程中，只在相应测量目标上方移动数个 µm，确保精准的近场数据采集。近场微探头的外壳中内置前置放大器，通过 Bias-Tee 偏置器供电。

图 2 ICS 105 是一款桌上设备。紧凑的尺寸（350 x   400 x 420）mm和轻巧的重量（23 kg）令其能够方便安放在开发人员的工作台上。

    集成电路检测器 ICS 105 通过 USB 接口连接至电脑，通过朗格尔电磁兼容技术有限公司的软件 ChipScan-Scanner（CS-Scanner，芯片扫描器）进行控制（图 3）。可以通过软件控制实现近场微探头的移动以及复杂测量流程的编程。

图 3 测量时 ICS 105 同频谱分析仪和电脑相连。通过测量与分析软件   CS-Scanner 对 ICS 105 进行控制，对测量结果予以记录。

    由朗格尔电磁兼容技术有限公司研制的软件 CS-Scanner 可实现对频谱分析仪中的测量数据进行读出、进行图像显示（2D 或 3D，图 4）、对测量数据的保存和输出（CSV 文件格式）。频谱分析仪上的最重要设置也可通过软件进行（图 5 ）。

图 4 软件 ChipScan-Scanner 生成 3D 容积扫描

图 5 软件 CS-Scanner 的操作界面。右侧为用于所连接频谱分析仪的操作面板。左上方为测量图表和跟踪管理器，对所有已进行的测量予以记录。

辅以控制与分析软件 ChipScan-Scanner 的集成电路检测器 ICS 105

    - 通过电脑/笔记本进行控制

    - 零点位置、近场微探头手动或基于脚本的移动

    - 从频谱分析仪中读出数据

    - 测量数据的 2D 或 3D 图形显示

    - 输出成 csv 文件或图形文件

    - 在集成电路上进行的自动测量：

    - 根据标准 IEC61967-3 进行集成电路表面扫描

    - 集成电路容量扫描

    - 针脚扫描