日前，中国—新加坡苏州工业园区举办了MEMS传感器产品交付会，苏州纳米科技发展有限公司将6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线的首个产品正式 交付客户。这意味着国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造中试线正式运营，该中试线的投用将为我国中小MEMS企业的发展带来福音。

    据了解，苏州6英寸微纳机电制造中试线，由苏州纳米科技发展有限公司建设，超净场地、厂务配套设施、研发实验室、公共服务等场地共占地 1.6万平方米，其中超净工艺场地占地5200平方米。该中试线是江苏省“十二五”重大科技平台项目，也得到了工信部“工业转型升级服务平台项目”支持。

    6英寸微纳机电制造中试线的推动者、苏州纳米科技发展有限公司负责人、苏州市集成电路行业协会秘书长张希军表示：“我国中小MEMS企业发 展面临很多困难，其中一个关键的难题是产品的工程化与中试生产，规模代工厂门槛较高，高校院所的实验室工程化能力较弱或开放度不够，产品的工程化中试已成 为影响中小MEMS企业规模化成长的瓶颈。中试线不仅是中小企业的创新平台，更弥补了中国MEMS产业创新链的空白。”