三星称首条EUV产线投产 年底7nm以下产量增两倍

  2月20日,三星宣布其首条基于极紫外光刻(EUV)技术的半导体生产线V1已经开始大规模量产。

  三星表示,一季度V1产线将开始首批交付7nm和6nm的移动芯片,预计到2020年年底,7nm以下的产能将增加两倍。

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  图片来源:三星官网

  三星 V1生产线位于韩国华城,2018年2月破土动工,于2019年下半年开始测试晶圆生产。

  “随着产量的增加,V1系列将增强三星响应市场需求的能力,并扩大为客户提供支持的机会。” 三星总裁ES Jung博士说道。

  三星指出,V1生产线目前正在生产7nm、6nm移动芯片,并将继续采用更精细的电路,直至3nm工艺节点。

  根据该公司的计划,到2020年底,V1生产线的累计总投资将达到60亿美元,预计7nm及以下工艺节点的总产能将比2019年增长两倍。

  三星表示,随着半导体几何尺寸越来越小,EUV光刻技术的采用变得越来越重要,为5G,AI和汽车等下一代应用提供了最佳选择。

  随着V1生产线的投入使用,三星现在在韩国和美国共有6条生产线,其中包括5条12英寸生产线和1条8英寸生产线。

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  图片来源:三星官网

  此前梳理发现,早在2018年6月,台积电已透露量产7nm工艺,2019年二季度量产7nm EUV工艺。

  另外,对于7nm以下工艺,2月18日,路透社报道指出,三星已获得高通5nm部分订单。虽然台积电今年也将量产5nm工艺,但三星仍希望通过提升这项工艺,在与台积电激烈的竞争中获得市场份额。


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